廈門半導體芯片制造班

【培訓目標】

學員能掌握半導體芯片制造技術的理論知識和實操技能，能獨立從事芯片制造的外延、光刻、清洗、蒸發(fā)、刻蝕、封裝、測試等各核心環(huán)節(jié)的技術與營運工作。

【課程內容】

第1章 概述

1.1集成電路的發(fā)展歷程、集成電路的由來

1.2集成電路的分類、按器件導電類型分類、按器件功能分類

1.3集成電路工藝基礎、集成電路的材料、二極管、三極管

1.4集成電路的生產(chǎn)環(huán)境

實習1 芯片制造設備認識實習基本操作教學

第2章  半導體材料

2.1晶體結構

2.2晶面與晶向

2.3晶體中的缺陷和雜質

2.4單晶硅的制備

2.5晶圓加工

實習1 工藝仿真實驗基礎及襯底特性分析實驗

實習2 氧化工藝分析與應用實驗

第3章   薄膜的制備

3.1氧化膜的制備

實習1 氧化爐認識實習

3.2化學氣相淀積

3.3外延生長

3.4物理汽相淀積

實習2 物理氣相沉積設備認識實習

實習3 金屬有機化學氣相沉積設備和硅外延設備認識實習

實習4 原子層沉積設備認識實習

第4章  摻雜技術

4.1離子注入

4.2擴散

實習1 離子注入工藝分析與應用實驗

實習2 擴散和退火工藝分析與應用實驗

實習3 離子注入機認識實習

實習4激光退火設備認識實習

實習5 退火爐、擴散爐和低壓化學氣相沉積設備認識實習

第5章  光刻技術

5.1光刻材料及設備

5.2光刻工藝

實習1 極紫外光（EUV）光刻機認識實習

5.3刻蝕工藝

實習2金屬刻蝕機認識實習

實習3 硅刻蝕機、介質刻蝕機、光刻膠刻蝕機、化合物刻蝕機認識實習

5.4光刻質量檢測實驗

實習4 槽式清洗機認識實習

實習5沉積、外延、光刻、刻蝕與典型前后道工序實驗

第6章 硅平面工藝流程

6.1雙極型集成電路工藝流程

6.2MOS工藝

6.3CMOS工藝

6.4Bi-CMOS工藝

實習1 電阻和二極管成套工藝分析實驗

實習2 JFET和MESFET成套工藝分析實驗

實習3 雙極型晶體管成套工藝分析實驗

實習4 MOSFET成套工藝分析實驗

第7章  金屬化與平坦化

7.1歐姆接觸

7.2金屬布線

7.3金屬膜的制備

7.4平坦化

7.5銅金屬化

實習1：測試站點

實習2：失效分析

第8章 芯片的識別

8.1了解流程和鋁絲壓焊機的使用

8.2擴晶機了解

8.3擴晶機的操作（實操）

8.4擴晶時的注意事項

第 9章 刺晶

9.1刺晶時工具的使用

9.2刺晶的注意事項

9.3手動備膠和點膠

第10章 鍵合機

10.1超聲波金絲球壓焊機的操作方法

10.2超聲波鋁絲球壓焊機的操作方法

10.3設置參數(shù)

10.4芯片鍵合

第11章 灌膠

11.1調膠的工具使用

11.2灌膠的注意事項

第12章 綜合實訓

12.1  LED支架的刺晶（實操）

12.2  8位數(shù)碼管的刺晶（實操）

12.3  LED支架的鍵合（實操）

12.4  8位數(shù)碼管的鍵合（實操）

12.5   灌膠（實操）

12.6   烘烤完后的剪切及檢測（實操）

【機構簡介】

美德職業(yè)培訓學校是由人力資源和社會保障局批準設立的一所技能培訓學校，學校坐落于廈門市湖里區(qū)火炬新科廣場，環(huán)境優(yōu)美，交通便利。

學校不斷強化“質量立校、人才強校、文化鑄校、特色興?！睉?zhàn)略，十分注重師資隊伍建設，擁有一支結構合理、業(yè)務精湛、經(jīng)驗豐富、德技兼?zhèn)涞膸熧Y隊伍。學校辦學實力雄厚，條件優(yōu)良，現(xiàn)開設了:工業(yè)機器人，PLC編程，半導體芯片制造，新能源汽車維修檢測，計算機程序設計，新媒體運營等培訓項目?，F(xiàn)建有多媒體教室、實訓中心、學生公寓、食堂等辦學場所，現(xiàn)代化教學設備設施一應俱全。

學校實施“校企合作、工學結合、訂單培養(yǎng)”等育人模式，與多家知名企業(yè)簽訂了校企合作協(xié)議，保障畢業(yè)生能就業(yè)，就好業(yè)。

學校堅持“以立德樹人為根本、以服務發(fā)展為宗旨、以促進就業(yè)為導向、以提高質量為核心”的指導思想，秉承“以人為本、全面發(fā)展”的辦學理念，奉行“德技兼修、知行合一”的校訓，朝著“特色突出、社會滿意、”的辦學目標而努力奮斗。

工業(yè)機器人培訓中心

技能提升基地

【師資簡介】

王進老師

畢業(yè)于江西理工大學，機械工程專業(yè)，碩士學位；

持有電工高級技師證、高級軟件開發(fā)工程師；

高校講師、持有高等院校教師資格證、高級中學物理教師資格證。

一、工作經(jīng)歷：

2009-2018年在海南科技職業(yè)大學 擔任教師、教學副院長

2018-2021年在于都理工服裝職業(yè)學校擔任教學副校長

2021年至今在廈門美德職業(yè)培訓學校擔任校長

二、獲獎及成果、著作

2018.10：海南省電子設計大賽一等獎

2018.10：發(fā)表核心論文“闡述關于集成運算放大器的教材改進”第1一作者 科學與信息化

2018.05 ：獲技能大賽嵌入式項目國賽三等獎

2018.06 ： 發(fā)表SCI論文“ The Use Of Op Amp in the Game”第二作者 JOURNAL OF ADVANCED OXIDATION TECHNOLOGIES

2018.06 ：主編教材“電氣控制與PLC”

2018.03 ： 獲技能大賽嵌入式項目海南省一等獎

2018.03 ：獲技能大賽嵌入式項目省優(yōu)秀指導教師

2017.12 ： 全國大學生電子設計大賽國家二等獎

2017.12 ：海南省大學生電子設計大賽一等獎

2017.12 ： 海南省電子大賽省優(yōu)秀指導教師

2017.9 ：頂崗實習優(yōu)秀指導教師

2017.7：獲技能大賽汽修項目省二等獎

2017.7：獲技能大賽汽修項目省三等獎

2017.1 ：參加省級教改項目 第二主持人

2016.12 ：海南省省級青師賽優(yōu)秀獎

2016.9：獲校級師德師風先進個人

2016.4：發(fā)表論文“工業(yè)電氣自動化的重要性和發(fā)展趨勢研究”第1作者 科技傳播ISSN1674-6708 CN11-5820/N

2016.4：發(fā)表論文“電氣自動化控制設備可靠性測試的方法探微”第1作者 無線互聯(lián)科技ISSN1672-6944 CN32-1675/TN

2015.11：全國大學生電子設計大賽國家二等獎

2015.11：海南省大學生電子設計大賽一等獎

2015.11：海南省電子大賽省優(yōu)秀指導教師

林廷威老師

畢業(yè)于福建信息職業(yè)技術學院工業(yè)機器人技術專業(yè)；

持有工業(yè)機器人集成應用職業(yè)技能等級證書

一、在校期間：

1、參加過“西門子杯”CIMC中國智能制造挑戰(zhàn)賽-離散行業(yè)自動化方向榮獲特等獎；

2、設計基于西門子PLC-1200的多部電梯群控方案及虛擬仿真功能實現(xiàn)；

3、曾獲智能制造學院全年獎學金。

二、工作經(jīng)歷：

1、在浙江錢江智能裝備有限公司擔任電氣工程師，從事電氣調試工作，參與過自動機加工生產(chǎn)線項目，主要負責機器人自動上下料，伺服電機控制及一些其他輔助配合。例如：日產(chǎn)新寶上下料項目、方太集煙罩自動生產(chǎn)線項目以及其他電氣柜輔助安裝調試。

2、在威瑞電動汽車新能源電池裝配項目，主要負責貼膠檢測、機器人引導抓件，相機物品識別。

3、在寧德時代裸電芯檢測項目，寧德時代模組線焊后檢測項目，主要負責針對現(xiàn)場客戶需求對視覺檢測軟件的調試以及現(xiàn)場PLC程序問題的整改。

4、在九江振邦技工學校擔任電工基礎、PLC、工業(yè)機器人專業(yè)教師。

5、在美德職業(yè)培訓學校擔任工業(yè)機器人、PLC專業(yè)教師，主要負責學員理論課和實訓課的傳授，具有豐富的教學實戰(zhàn)經(jīng)驗。

池京龍老師

畢業(yè)于江西新能源科技職業(yè)學院工業(yè)機器人技術專業(yè)。

一、在校期間：

1、參加過“工業(yè)機器人技術應用”江西省職業(yè)院校技能大賽獲獎。

2、參加過“無人車智能挑戰(zhàn)賽”中國機器人及人工智能大賽獲獎。

二、工作經(jīng)歷：

1、在蘇州伊之密擔任安調工程師，從事電氣調試工作，參與過智能壓鑄島項目，主要負責對噴漆機器人和取件機器人的安裝調試，及所有設備的通信。以及其他自動化項目的安裝與調試如變頻器、步進驅動器，PLC主要以三菱Q系列和FX系列；西門子S7-1200；

2、在福建莆田理工技術學校擔任工業(yè)機器人、PLC、電工基礎等專業(yè)課程；

3、在廈門美德職業(yè)培訓學校擔任工業(yè)機器人、PLC專業(yè)教師，主要負責學員理論課和實訓課的傳授，具有豐富的教學實戰(zhàn)經(jīng)驗。

田文國老師

畢業(yè)于東華理工大學自動化專業(yè)；

持有工業(yè)機器人集成應用職業(yè)技能等級證書。

一、在校期間：

1、參加過“全國智能電力控制系統(tǒng)設計與應用技能大賽”榮獲二等獎；

2、2017年獲得國家勵志獎學金年獎學金；

3、2017年被評為學?！皟?yōu)秀青年志愿者”；

4、2018年評選為院級“優(yōu)秀團干”；

5、2018年評為學校“三好學生”榮譽稱號；

6、2020年獲得東華理工大學“三等獎學金”；

7、2020年被評為東華理工大學“素拓之星”；

8、在校任職學習委員、學生會副主席職位；

二、工作經(jīng)歷：

1、在上饒晶科能源有限公司擔任工藝工程師，從事太陽能電池組件生產(chǎn)工藝產(chǎn)品質量工作，參與自動生產(chǎn)線產(chǎn)品工藝項目，主要負責太陽能電池組件如何達到產(chǎn)品質量，對廠內電氣設備元器件檢查調試是否合格。

2、在成都富士康負責檢驗平板LOGO大小合格，對機器人檢測控制放入檢測。

3、在橫店東磁集團有限公司負責mess系統(tǒng)通信檢修和安裝，通過RFID傳感器上傳到5G通信端然后每臺設備相互構成局域本地網(wǎng)發(fā)送到后臺服務器上傳到公司開發(fā)得mess系統(tǒng)可以上傳產(chǎn)品數(shù)據(jù)統(tǒng)計和設備故障，通過遠端查看設備狀態(tài)對廠區(qū)所有設備、產(chǎn)品數(shù)嚴格把關和統(tǒng)計。

4、在江西贛州安遠中等專業(yè)學校擔任工業(yè)機器人、PLC專業(yè)教師；

5、在廈門美德職業(yè)培訓學校擔任工業(yè)機器人、PLC專業(yè)教師，主要負責學員理論課和實訓課的傳授，具有豐富的理論教學和實戰(zhàn)經(jīng)驗。

徐信琳老師

畢業(yè)于廈門理工學院機械工程學院機電一體化專業(yè)；

持有維修電工高級工、高級工業(yè)機器人系統(tǒng)運維員證書。

工作經(jīng)歷：

2011-2022年就職于廈門松興智能機器人有限公司，公司是松下電焊機、機器人福建區(qū)域代理銷售服務商，主營松下機器人品牌，專注于焊接、切割及綜合應用的技術型企業(yè)，同時也有銷售發(fā)那科、安川等其他工業(yè)機器人。在公司主要負責工業(yè)機器人的安裝、調試、維修、保養(yǎng)、操作培訓等售后服務工作。

2022-至今在廈門美德職業(yè)培訓學校擔任工業(yè)機器人、PLC專業(yè)教師，主要負責學員理論課和實訓課的傳授，具有豐富的理論教學和實戰(zhàn)經(jīng)驗。

林菁老師

畢業(yè)于中國傳媒大學南廣學院音樂傳播及播音主持專業(yè)；

持有多媒體運營師高級證書、江蘇省執(zhí)業(yè)經(jīng)紀人證書、國家普通話一級證書、初級中學音樂教師資格證書、廈門音樂季國際鋼琴公開賽優(yōu)秀指導教師、亞洲國際音樂交流協(xié)會副秘書長。

一、在校期間

1、大學四年擔任班長，寢室長。并曾為學生會成員，系女籃隊員，校合唱團成員。

2、2008-2009學年獲軍訓標兵榮譽稱號。

3、2009-2010 學年獲一等獎學金，獲優(yōu)良學風建設積極分子、優(yōu)秀班干稱號。

4、2010-2011 學年獲一等獎學金，獲評優(yōu)秀暑期實踐報告，擔任戲劇企劃宣傳負責人及總舞臺監(jiān)督。

5、2011-2012學年獲一等獎學金，獲三好學生稱號。

二、工作經(jīng)歷

2009年7月于廣東省深圳市愛愛教育中心負責音樂文化推廣

2009年8月于福建省南平市廣播電臺負責音樂節(jié)目制作

2010年7月于福建省廣播影視集團東南衛(wèi)視開心100參與節(jié)目策劃

2012年7月至2013年3月于北京新麗傳媒股份有限公司擔任宣傳策劃

2013年5月至2014年5月于福建希望文化傳播有限公司從事媒體運營

2014年5月至2017年3月于廈門衛(wèi)視廣告有限公司擔任媒介經(jīng)理

2017年3月至今指尖華彩藝術教育、泛現(xiàn)代音樂中心擔任音樂教師

2022年5月成立廈門藝歆文化活動策劃工作室，為創(chuàng)始人

2022年10月于廈門美德職業(yè)培訓學校擔任副校長。有豐富的媒體從業(yè)經(jīng)歷和教學經(jīng)驗。

安萍老師

畢業(yè)于北京語言大學電子技術應用專業(yè)；

工作經(jīng)歷：

1、在廣東東莞光輝科技有限公司擔任光刻技術員，從事芯片生產(chǎn)管理工作，主要負責跟蒸發(fā)，刻蝕，清洗各部門進行協(xié)調生產(chǎn)工作

2、在清華同方半導體有限公司擔任生產(chǎn)組長工作：主要負責人員報道情況，產(chǎn)線生產(chǎn)安排情況及車間6S衛(wèi)生狀況，，每天生產(chǎn)產(chǎn)量是否達標匯報給上面領導；還擔任調度專員：主要負責生產(chǎn)產(chǎn)線上所有的物料，及發(fā)放每個車間用的物料，每月盤點車間物料庫存，倉庫庫存以及在產(chǎn)線上有多少物料，核算下個月所用到的物料，及提前申購下月物料。

3、在士蘭明鎵化合物半導體有限公司/生產(chǎn)管理中心芯片生產(chǎn)部/生產(chǎn)領班，主要負責1.協(xié)助生產(chǎn)投料執(zhí)行，保證生產(chǎn)線上按計劃流片生產(chǎn)；生產(chǎn)物流配給，保障生產(chǎn)物料供應；生產(chǎn)線的現(xiàn)場管理，監(jiān)督班長的現(xiàn)場執(zhí)行力；產(chǎn)線排程，流速管理，依生產(chǎn)調度安排，合理排程，保證制品有序生產(chǎn)；訂單跟蹤和反饋，確保訂單交期準確，員工的日常行為規(guī)范，異常信息收集和反饋，重大異常的及時處理，響應及時并規(guī)范處理，推動建立跨部門溝通的能力

4、在江西吉安中等專業(yè)學校擔任芯片專業(yè)教師；

5、在廈門美德職業(yè)培訓學校擔任芯片專業(yè)老師，主要負責學員理論課和實訓課的傳授，具有豐富的理論教學和實戰(zhàn)經(jīng)驗。

【教學現(xiàn)場】

上課現(xiàn)場

培訓現(xiàn)場

講解現(xiàn)場

【機構環(huán)境】

機構環(huán)境

教學環(huán)境

教室

課室

設備